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●単波長エリプソメーター 　　MARY-102 　　　　300ｍｍウェハー対応 　　　　大型基板対応 　　　　自動搬送機能 NEW ●超小型エリプソメーター 　　MACO-101 ●分光エリプソメーター 　　MASS-105   ●位相差測定装置（LD) 　　PDMS ●分光位相差測定装置 　　PDMS-SP NEW ●LED光源位相差測定装置 　　PDMS-LED   ■小型分光放射計 　　Specbosシリーズ 　　　　1200タイプ 　　　　 ■小型分光放射計 　　Specbosシリーズ 　　　　1211タイプ 　　　　高感度タイプ ■各種　分光光度計     ●変位角（チルト）センサー 　レーザーオートコリメーター 　変位角センサ 　複合センサ（変位角+変位）   ■Watson社　ジャイロセンサ         ●空間電荷測定装置 　　PEANUTS   ■LUXEL社　薄膜フィルタ   ●偏光モジュレーター ●ファイバーカプラー ●ファイバーコリメータ ●ＬＥＤ光源   ■Tower社 　 ※アクロマティック波長板 ※ゼロオーダ波長板   ●レンズ肉厚検査器 　　(LTC/LTM)   NEW ●非破壊光断層観察装置 　　OCT