MASS−105

 

    ファイバーカプラー MU-501   

 

 

MASS-haiCut.JPG - 3,949BYTES

 ● 高解析力  

   

 ● 回転位相子法を採用

 

 ● 高再現性

 

 ● 高速測定

 

 ● 豊富なオプション

    

 

 

 

装置概要: 分光エリプソメータ MASS-105シリーズは、弊社製単波長エリプソメータMARYシリーズとの共通部品化で、小型・低価格な装置となりました。

分光器には、2048分割のCCDタイプを用いるなど、性能・機能はパワフルなものとなっています。

●コラム:いちばん最初に読む「エリプソメータ」


特徴:

高精度測定T
測定方式に回転位相子法を採用し、測定値Δ(位相差)の値に依存せず、どの領域でも高精度測定を実現してい
ます。

 

高精度測定U
位相板は専用の広帯域位相板を使用し、弊社独自のホールモータによる光学素子の回転により高い再現性の測定が出来ます。

 

エリプソメータ 装置仕様:

 

仕様 Specifications

測定方式

 回転位相子法(RQ法) Method  Rotating Retarder Method

光源

 150W Haランプ Light
Source
 150W Halogen
ビーム径   約 φ1〜5mm Beam Dia   Approx.φ1〜5mm
入射角 自動可変、手動可変あるいは固定(任意)
自動の場合 45°〜90°
  0.01°刻み
Incident
Angle

Auto, Manual or Fixed
Auto(45°〜90°

0.01°step)

サンプル
ステージ
 6インチサイズ標準  (8", 12")
 自動θ-Y タイプ
 手動θ-Y タイプ
 モータドライブZ軸
 手動Z軸
 手動チルト機構付
Sample
Stage
 6" standard (8" & 12" optional)
  Autoθ-Y
 Manualθ-Y
  Motor-driven Z-axis
 Manual Z-axis
 Manual tilt control
測定精度  Δ = ± 0.05 °
 ψ = ± 0.05 °
 @SiO2(1000 Å) / Si
Accuracy  Δ=±0.05°
 ψ=±0.05°
 @SiO2(1000Å)/Si
波長領域   360 〜 900nm Wavelength
Range
  360 〜 900nm
波長分解能      1.5nm Wavelength
Resolution
    1.5nm
PC  IBM-PCまたは互換機 PC  IBM-PC compatible
寸法  300W×400D×450H mm Dimensions  300W×400D×450Hmm

 

 

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