非接触レンズ厚測定装置

 

    ファイバーカプラー MU-501    

本装置はレンズの厚み測定に開発された厚み測定機です。

レンズ単品の検査のみならず、ダブレット/トリプレット等バルサム後の品質管理にお困りの方はデモ機がございますので是非一度ご検討ください。

 

 

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 ● 凹/凸レンズ、メニスカス測定可能

 

 ● バルサムレンズ

 

 ● 非接触測定

 

 ● 高速測定

 

 ● センタリング調整機構付

    

 

 

 

― 特徴 ―

 

● 光マイクロメータはマイケルソン干渉方式を用いた
  非接触・非破壊の断層計測装置です。

 

● 接触式では測定しにくかったメニスカスレンズの肉厚測定も
  可能です。

 

● 光源に1.3μSLDを使用していますので、Si等の測定も可能です。

 

● ファイバー干渉系ですので、
  コンパクトで振動に強く現場使用に最適です。

 

● 応用例としてガラスパイプも測定可能。


― 仕様 ―

 

測定方式 : マイケルソン干渉方式
光源   : 1.3μ
精度   : ±1μ(シリコンウエハー)
分解能  : 1μ以下(※)
ビーム径 : φ1mm(集光光学系)
サンプル厚: 標準10mm(オプション15mm)(bk-7)
測定時間 : Min 40msec(積算回数により測定時間は異なります)
本体寸法 : 150×125×180(mm)
(奥行X幅X高さ)
信号処理系: 290×330×140(
mm)(奥行X幅X高さ)

測定サンプルにより変化します

★ メニスカスレンズ測定方法

 

PDMSLDCUT.JPG - 8,337BYTES


















 

設定画面                   測定画面

 

LDBLUE.JPG - 6,316BYTES    SIZRSI-1-BIGCUT.JPG - 16,301BYTES

 

>本体外観図 小型分光器

 

>測定動画1

>測定動画2

>測定動画3